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供应泰科诺ZHDS-400手套箱镀膜机

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更新日期2021-07-14 11:20

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商品信息

基本参数

品牌:

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所在地:

北京

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有效期至:

长期有效

品牌:

泰科诺

型号:

ZHDS-400
详细说明
品牌 泰科诺
型号 ZHDS-400

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。

2.多组蒸发源,兼容有机与金属蒸镀,广泛用于OLED/PLED,钙钛矿薄膜等研究系统。

型号

ZHDS-400

真空腔室

L400×W400×H500,前后开门结构,SUS304不锈钢材质,

真空系统

复合分子泵+直联旋片泵,超高真空插板阀,“两低一高”数显复合真空计

极限真空

优于6.0×10-5Pa(如需获得更高的真空度可选择进口真空泵组)

基片台

≤120mm;基片台加热:室温~300℃;基片台旋转及光控定位

蒸发源

8组蒸发源(舟式源或挂丝源,兼容有机材蒸发)                                    

膜厚控制

掩膜及膜厚控制系统:定制掩膜机构

采用晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚

手套箱系统

手套箱箱体尺寸:大箱体L1800×W750×H900mm

箱体泄露率<0.05vol%/h,标准环境箱体内水、氧指标<1ppm

控制方式

镀膜系统采用手动按钮控制,手套箱系统采用PLC+触摸屏控制

报警及保护系统

对泵、电极等缺水,过流过压,断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统

 

 
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