| 品牌 | TELEMARK |
|---|---|
| 型号 | 294/TT10 |
美国TELEMARK公司 电子枪及控制电源
旋转型多坩埚电子枪
l 埚体易拆卸，便于坩埚的清洗和更换
l 270度电子束偏转(暗藏灯丝)
l **型水冷却设计可大大的延长坩埚的使用寿命，提高膜料蒸发均匀性
l 设计结构可靠
l 易于使用和维修的优化设计
l 采用**磁铁，初始电子束定位容易，改善蒸发工艺的控制
l 精密设计的枪头组件，可增加灯丝的使用寿命
l 插入式枪头组件便于灯丝更换
l 侧部或底部坩埚旋转驱动
l 247/266/277型电子枪上使用的旋转式馈入装置，对水和真空的密封性高
改进型**磁铁减少扎坑现象
该新型电子枪是在传统电子枪的基础上通过改变对磁场的设计加工而成，它可以使电子束以垂直角度入射蒸镀膜料，及增加熔炼膜料的使用面积，并使膜料的熔炼更均匀形成蒸发，该电子枪上可选配无弧装置或自密封式盖板。
294型“垂直入射”电子枪
该新型10千瓦电子枪可携带6个40CC的坩埚或一个475CC的槽形坩埚，其**磁铁技术改型，以及无弧装置使该型号的电子枪成为光学镀膜工艺的**选择，如果在该枪上匹配自密封式盖板，那么该电子枪又可用于联合蒸镀工艺(金或其他膜料在坩埚中交替使用)。
电弧抑制技术
带有无弧装置的电子枪在氧大于5毫托运行，可在及其满负载的环境中操作，不影响离子源或其他发射装置，可以和6个100CC的坩埚匹配使用。带有无弧装置的电子枪具有多种用途，例如说，其可以在没有压力隔板的情况下用于光学镀膜和离子电镀，由于其可抑制电弧的发生，从而使镀膜的质量得到改善并减少了因发生电弧而需进行的维修。
无弧装置作为选配件可在大多数TELEMARK设计的电子枪上得到应用，虽然它与标准型号的电子枪相似，但该电子枪上带有高压馈入装置，并且还有两个单独的冷却水路来冷却枪体和高压组件。
坩埚驱动器
376型电子枪有手控可编程逻辑控制器控制的4个或6个坩埚，另外，379型电子枪在控制速度的情况下可连续运动和倒转（香蕉型坩埚，395型电子枪上可安装8个，10个或12个旋转坩埚，并可进行连续运动或倒转）。
自密封式盖板
该自密封盖板可用于防止膜料之间的交叉污染，当坩埚驱动器转到下一个坩埚位置时，该盖板的前部将向上移动。该盖板将通过坩埚上的轴进行驱动并在该组件的后部进行回转。当盖板处于闭合位置时，将于坩埚接触，这样可防止相邻坩埚中蒸镀膜料的相互进入，该盖板用水进行冷却且前部边缘有一定的角度，其目的是防止蒸镀膜料产生堆积。
规格 | 211/241/247 | 265/266/270** 271/272**/277 | 294 | 295 |
电子束偏转 | 2700 | 2700 | 2700 | 2700 |
功率 | 6KW* | 10KW* | 10KW*/15KW* | 10KW*/15KW* |
**大高压 | -10KV | -10KV | -10KV | -10KV |
高压范围 | -6KV至-10KV | -6KV至-10KV | -6KV至-10KV | -6KV至-10KV |
纵向线圈电阻 | 8.5 ohms | 3.0 ohms | 3.0 ohms | 3.0 ohms |
槽向线圈电阻 | 7.5 ohms | 9.6 ohms | 9.6 ohms | 9.6 ohms |
灯丝功率 | **大600瓦 | **大600瓦 | **大900瓦 | **大900瓦 |
冷却水要求 | 2加仑/分@60F | 3加仑/分@600F | 5加仑/分@60F | 5加仑/分@60F |
*公称值：实际额定功率是不同的，这取决于用户的工艺情况
控制电源
型号 | TT-3 | TT-6 | TT-10 | TT-15 | ST-4 | ST-6 | |||
**大功率 | 3 kW | 5.5 kW | 10 kW | 15 kW | 4 kW | 6 kW | |||
HV (可调) | tap adjustable -4 to -7 kV | -6.5到-7.5 kV | -6 到 -10 kV | -6 到 -10 kV | |||||
控制电压 | 0到 -10 VDC | 0 到 10 VDC | 0 to 到 VDC | ||||||
响应时间 | <100微秒 | <100微秒 | |||||||
灯丝 | 3 V @ 22 A | 4.5 V @ 32 A | 5.5 V @ 36 A | 7 V @ 45 A | 3.5 V @ 27 A | 4.5 V @ 32 A | |||
冷却 | 风冷 | ||||||||
一个电子枪 | TT-3(50/60 Hz) | TT-6(60 Hz)； TT-6E(50 Hz) | TT-10-1(60 Hz)； TT-10-1E(50 Hz) | TT-15-1(60 Hz)； TT-15-1E(50 Hz) | ST-4或ST-4E(50/60 Hz)
| ST-6或ST-6E(50/60 Hz) | |||
两个电子枪 | 无 | 无 | TT-10-2(60 Hz)； TT-10-2E(50 Hz) | TT-15-2(60 Hz)； TT-15-2E(50 Hz) | 无 | 无 | |||
三个电子枪 | 无 | 无 | TT-10-3(60 Hz)； TT-10-3E(50 Hz) | TT-15-3(60 Hz)； TT-15-3E(50 Hz) | 无 | 无 | |||
XY扫描仪（所有型号的电源上都可选用）
可编程XY扫描仪是用来控制电子枪束斑的点位，扫描图形可通过发光二极管显示器来观察，可通过编程来改变频率，延时和定位。
1，可一次编辑4行20个屏显参数
2，能存储120个扫描图形
3，扫描图形的通道长度为99个扫描工步
4，可与所有的横向电子枪相兼容
5，可通过调节输出来给电子枪纠偏，显示的扫描图形是真空室内的实际扫描图形
6，远距操纵杆控制器可用来控制程序，进行扫描图形的修改或临时对扫描图形定中心以及对**扫描图形进行选址处理以简化安装
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