供应进口磁控溅射镀膜设备-美国野马TRIBO Series系列

    进口磁控溅射镀膜设备-美国野马TRIBO Series系列可以配置为单沉积技术，包括专用或者通过结合沉积方法混合解决方案**多达8个不同的沉积方法。标准涂层面积24英寸或48英寸的高度、24-38英寸直径与单一旋转或多个行星自转。      

规格
●双层不锈钢水夹套真空室设计。
●快速装卸屏蔽罩和行星转台的设计。
●行星旋转衬底转台分成三层。
●多个屏蔽辐射元素为衬底加热与热电偶反馈提供允许温度监测与控制基板的温度**大的高达600°C。
●2 x直流和交流线性辉光放电阵列,用于等离子体预处理、离子辅助沉积或PACVD面涂层。
●灵活的单(1)到6(6)单独关闭阴极靶位可供各种溅射、蒸发& PACVD沉积源包括:
1**的高功率密度(高达30w/平方厘米)、不平衡或平衡磁控管为直流、脉冲直流、交流、射频和HIPIMS溅射操作。
2、矩形和圆形80 - 200 a引导电弧蒸发阴极。
3、热丝、脉冲直流、交流和射频PACVD。
4、热、电子束蒸发。
5、直流、脉冲直流、交流或射频衬底偏置电压为定制离子辅助增长递送。

●标准矩形阴极尺寸的6 x 30英寸和6 x 54英寸(其他请求)。
●PLC /WindowsPC控制与综合颜色触摸屏。多个用户选定的配方可以从人机界面,几乎无限的配方存储在主机电脑。网络/调制解调器进行远程访问“实时”诊断运行或过程监控。
●多个质量流量控制器(通常是Ar、N2 CxHy,O2和备用)工作&活性气体输送和净化控制。
●干燥剂排气作为标准。
●标准溅射&弧电源(额外的制造商和配置要求):
●直流电源- 5-30KW甚至高达180千瓦大功率电源
●脉冲直流电源- 5-30KW
●AC /中频功率- 5 - 150千瓦
●射频功率- 5-15KW
●HIPIMS(高功率脉冲磁控溅射)力量——40千瓦(高功率峰值高达8 mw)
●引导弧- 80 a,120或200一个

标准泵的配置:

●1x爱德华兹GXS250/2600粗&罗茨泵方案。
●2 x爱德华兹STP-iXA 2206 5轴,磁悬浮,涡轮分子泵。

●生产&自动化选项:
●单室门、手动操作。
●双室门、手动操作。
●简单加载/卸载行星旋转唱盘&携带手推车。
●单或2位置完全自动转盘可以水平或垂直地提出根据夹具。

     要购买进口磁控溅射镀膜设备或使用进口磁控溅射镀膜设备中有不明又或需要进口磁控溅射镀膜设备技术支持的请联系东莞爱加。   

东莞爱加真空科技有限公司主要面向全球提供各知名真空装备及周边设备的应用技术服务支持，集销售、安装、售后为一体，凭借雄厚的技术实力和良好的市场信誉，在国内外上百家公司评估中脱颖而出，成为美国**品牌“野马”真空系统总代理。该系统应用于各大真空镀膜领域，拥有**全球的专业技术，有效的替代了传统的电镀工业，使产品更加明亮，更加均匀，成为行业的**。追求无止境，发展没有终点。爱加真空将持续为广大客户提供**的产品和**的服务，真诚希望与您合作共赢，共创辉煌。

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