JCP500 磁控溅射镀膜机 北京泰科诺科技有限公司

材质	不锈钢或碳钢
产地	北京
产品认证	ISO9001
类型	真空镀
适用范围	表面处理
品牌	泰科诺科技
型号	JCP500
加工定制	是

一、产品概述
1、适用：大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
2、产品特点/用途：
?设备可溅射/蒸发两用；占地面积小，价格便宜，性能稳定，使用维护成本低；
?可用于制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、磁性膜、传感器膜及耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀膜等；
?镀膜示例：银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等；
?单靶溅射、多靶依次溅射、共同溅射等功能。
 
二、技术参数
型号 JCP500
真空腔室结构 立式前开门结构，后置抽气系统
真空腔室尺寸 Φ500×H420mm
加热温度 室温～500℃
溅射方式 上下溅射可选
旋转基片台 Φ150mm
膜厚不均匀性 Φ100mm范围内≤±5.0%
溅射靶/蒸发电极 Φ2、Φ3、Φ4英寸磁控靶2-4支可选
工艺气体 2~3路气体流量控制
控制方式 PLC控制/工控机全自动控制可选
占地面积 (主机）L1800×W800×H1900mm
总功率 ≥15KW