| 加工定制 | 是 |
|---|---|
| 电镀电源 | 直流电源 |
| 镀膜材质 | 其他超硬功能性金属膜 |
| 镀膜原理 | 蒸发镀膜 |
| 产品别名 | 真空镀膜机 |
| 规格 | ZZS |
| 适用范围 | 用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。 |
| 品牌 | 鑫南光 |
| 型号 | 真空镀膜机 |
| 电镀位置 | 浸镀 |
| 镀种 | 真空镀膜 |
一、用途：
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。
二、产品特点：
1、采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和和维修；整机表面平整，便于清洁，特别适合放在净化间内作穿墙式安装。
2、设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。
3、工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可靠。
4、采用先进的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定可靠，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
三、设备主要技术指标及配置：
| 型号 | ZZS500 | ZZS700 | ZZS800 | ZZS1100 | ZZS1300 | ||||
| 真空室尺寸 （直径*高） | Φ500×650 | Φ710×850 | Φ800×900 | Φ1100×1300 | Φ1300×1500 | ||||
| 极限真空度 | ≤3.0×10-4Pa | ≤1.0×10-4Pa | |||||||
| 恢复真空时间 | ≤4.0×10-3Pa≤15min | ||||||||
| 真空系统主泵 | F-250 | TK-500 | K-630 | TK-500×2 | K-630×2 | ||||
| 真空测量系统 | 三路数字复合真空计，两路低真空，一路高真空 | ||||||||
| 操作方式 | 手动/自动 | ||||||||
| 工件夹具 | Φ410 | Φ640 | Φ730 | Φ1020 | Φ1200 | ||||
| 工件烘烤系统 | 上烘烤，铠装管状加热，最高温度350℃，PID自动控温及显示 | ||||||||
| 蒸 发 源 | 电阻蒸发源 | 电阻蒸发源功率4KW（8V，600A） | |||||||
| 电子束蒸发源 | E型电子束蒸发源功率6-10KW | ||||||||
| 膜厚监控系统 | 光学膜厚监控/石英晶体膜厚监控 | ||||||||
| 动力需求 | 冷却水 | 压力、温度 | 0.25～0.35MPa，温度≤25℃ | ||||||
| 流量 | ≥50L/min | ≥60L/min | ≥80L/min | ≥140L/min | ≥160L/min | ||||
| 压缩空气 | 压力：0.5～0.7MPa | ||||||||
| 最大消耗电力 | ～25KW | ～35KW | ～45KW | ～50KW | ～55KW | ||||
| 设备外形尺寸 （宽*深*高） | 2100×1800× 2000 | 3350×2600×2370 | 3580×3000×2450 | 3870×3600×2670 | 3900×4050×2950 | ||||
| 设备总量 | 约1500 | 约2000 | 约2500 | 约3000 | 约4000 | ||||
15021615632