| 类型 | 镀膜仪 |
|---|---|
| 执行质量标准 | 国标 |
| 品牌 | 成越 |
| 型号 | CY-EVP180G-LV |
| 加工定制 | 是 |
| 特性级别 | 标准级 |
小型二合一镀膜仪 CY-EVS180G-LV
等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用高纯石英腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-1Pa的真空度，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。
小型二合一镀膜仪适用范围：
扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。
小型二合一镀膜仪技术参数：
| 小型二合一镀膜仪 | ||||
| 样品台 | 尺寸 | φ80mm | 至蒸发源间距 | 20mm~50mm可调 |
| 直流溅射头 | 数量 | 2”×1 |
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| 蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 | 温度 | 1700℃ |
| 热电偶 | S型热电偶 |
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| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm×100mm | 观察窗口 | 全向透明 |
| 腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
| 真空系统 | 机械泵 | 旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
| 真空测量 | 电阻规 | 排气接口 | KF16 | |
| 极限真空 | 1.0E-1Pa | 供电电源 | AC;220V 50/60Hz | |
| 抽气速率 | 旋片泵：1.1L/S | |||
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