真空镀膜室：304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：直径260*H310mm
真空极限及抽速：优于3×10-5Pa（2×10-7Torr），达到3×10-4Pa≤15min
旋转基片台：承载**大直径120mm基片或方形基片；配有基片台挡板；基片台磁流体密封，电机驱动基片台旋转，旋转速度0-20转/分钟可调。
均匀性指标：120mm直径范围内不均匀性《5%
蒸发电极及电源：2～3组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发；
2KW，恒流/恒功率控制，可以预设工作电流
设备配电：电压：AC220V/50HZ功率：3.5KW
设备尺寸：长×宽×高:500*360*420mm
起订量：1台
产品描述以及优点介绍
DESK系列小型台试蒸发镀膜系统是我公司专为实验室应用需要而开发的小型蒸发镀膜试验平台。该系统可蒸镀金属、有机物等薄膜材料；广泛应用于科研院所、实验室制备金属电极层，扫描电镜制样以及新能源材料相关的有机新材料、新工艺研究。
设备特点：
★全不锈钢真空腔室，保证系统的耐久性及操作安全性；更合理的气路设计及细节考虑；
★更的小体积，系统采用模块化设计可扩展性高在保证系统稳定性的前提下，进一步优化您的实验室利用空间。
★系统采用机械泵+进口分子泵组成高真空系统，抽到工作高真空仅需15-20min，节省实验时间。