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供应泰科诺ZHDS-400手套箱镀膜机

详细信息

品牌	泰科诺
型号	ZHDS-400

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。

2.多组蒸发源，兼容有机与金属蒸镀，广泛用于OLED/PLED,钙钛矿薄膜等研究系统。

型号	ZHDS-400
真空腔室	L400×W400×H500，前后开门结构，SUS304不锈钢材质,
真空系统	复合分子泵+直联旋片泵，超高真空插板阀，“两低一高”数显复合真空计
极限真空	优于6.0×10-5Pa(如需获得更高的真空度可选择进口真空泵组)
基片台	≤120mm；基片台加热：室温～300℃；基片台旋转及光控定位
蒸发源	8组蒸发源（舟式源或挂丝源，兼容有机材蒸发）
膜厚控制	掩膜及膜厚控制系统：定制掩膜机构采用晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚
手套箱系统	手套箱箱体尺寸：大箱体L1800×W750×H900mm 箱体泄露率<0.05vol%/h，标准环境箱体内水、氧指标<1ppm
控制方式	镀膜系统采用手动按钮控制，手套箱系统采用PLC+触摸屏控制
报警及保护系统	对泵、电极等缺水，过流过压，断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统

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