材质	金属
产地	北京
产品认证	ISO9001
类型	真空镀
适用范围	表面处理
品牌	泰科诺科技
型号	ZHDS400
加工定制	是

一、产品概述
1、适用：大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
2、产品特点/用途：
? 设备一体化设计，占地面积小，价格优惠，性能稳定，使用维护成本低；
? 设备配备4～6组蒸发源，兼容有机蒸发与无机蒸发，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；
? 适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；
? 适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。
 
二、技术参数
型号 ZHDS400
镀膜方式 多源蒸发镀膜
真空腔室结构 方箱式前后开门；配置手套箱
真空腔室尺寸 L400×W440×H450mm
加热温度 室温～300℃
旋转基片台 120mm×120mm
基片台升降 手动调节升降高度0～80mm
膜厚不均匀性 ≤±5.0%
蒸发源 2组金属源，2～4组有机源
控制方式 PLC控制
占地面积 主机L1100×W780×H1800mm，手套箱尺寸定制
总功率 ≥10KW