| 材质 | 不锈钢 |
|---|---|
| 抽气量 | NA |
| 抽气速率 | NA |
| 电机功率 | NA |
| 额定流量 | NA |
| 极限压力 | 10-5 |
| 进出口径 | NA |
| 类型 | 真空镀膜机 |
| 驱动方式 | 电动 |
| 输送介质 | 空气 |
| 性能 | 自动 |
| 扬程 | NA |
| 用途 | 真空镀膜 |
| 真空度 | 超高真空度 |
| 泵轴位置 | 卧式 |
| 叶轮吸入方式 | NA |
| 品牌 | OPTORUN |
| 型号 | 1300 |
| 加工定制 | 否 |
上海群宪真空设备有限公司是一家经国家相关部门批准注册的企业，坐落于上海市闵行区。上海群宪真空设备有限公司是专门从事各种进口真空设备销售及售后维护保养服务的高新技术企业。公司拥有专业进口真空泵维修技师数十名。 经营范围： ※ 低温泵维修：Ulvac(日本爱发科)、Anelva(日本安内华)、Cti（美国brooks）、Leybold(德国莱宝)、Suzuki(日本铃木)、Austin(牛津仪器)等。 ※ 机械油泵、干泵、分子泵、扩散泵维修：Ulvac（日本爱发科）、 Alcatel（法国阿尔卡特）、 Leybold（德国莱宝）、 Boc edwards（英国爱德华）、Ebara（日本荏原）、 Kashiyama(日本坚山)、 Becker （德国贝克）、Iwata（日本岩田）、 Pfeiffer(德国普发)、Busch（德国普旭）、Rietschle(德国里其乐)、Orion(日本好利旺)等。 ※ 各种进口二手真空泵和真空相关零配件及真空泵油品销售。
产品名： GENER-1300DBI 型 式： 1300DBI 产品参数：
| 产品名： | |
| GENER-1300DBI | |
| 型 式： | |
| 1300DBI | |
| 产品参数： | |
| 产品参数： | |
| 真空室 | SUS304,Ф1300×1610mm(H) |
| 工件架 | Ф1200mm |
| 工件架转速 | 10rpm to 30rpm(可变) |
| 光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS400A（可选） |
| 光学膜厚监控仪 | 波长范围：400nm to 1100nm |
| 反射式/透射式 | |
| 水晶式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
| 蒸发源 | 电子枪2套 |
| 离子源 | GL离子源 |
| 排气系统 | 机械泵 |
| 1个扩散泵 | |
| Polycold | |
| 性 能 | |
| 达到压力 | 5.0×10-5Pa以下 |
| 排气时间 | 15分 |
| （大气压～1.3×10-3Pa） | |
| 基板温度 | 最高：350℃ |
| 工作条件 | |
| 设备尺寸 | 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H) |
| 电源 | 3相,200v,50/60Hz, 约101KVA |
| 水流量 | 140升/分以上 |
| 空气压力 | 0.5MPa以上 |
| 重量 | 约9000kg |
