货号	GSL-1700X-SPC-2
装修及施工内容	安装工程

 GSL-1700X-SPC-2是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪，可以设定程序**控制温度200oC~1500oC（或者1200oC~1700oC），**大可蒸镀直径2英寸薄膜样品，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜，广泛用于电极的制备和有机物发光LED。

真空腔体为直径6英寸的石英腔体，易清洁和放入样品安装有一个2英寸的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜达到更好的均匀性采用钨丝篮作为发热源，**高温度可达到1700℃，并且配用专用氧化铝舟，可装入样品（仅1600℃以下使用，若蒸发温度大于1600℃，样品应直接放在钨丝篮中）**控温：可设置30段升降温程序，控温精度为+/-1oC 电压:  AC 208 - 220V 50/60Hz , 单相, 50/60Hz**大功率为：500W **大电流为30A采用钨丝作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制标准采用S型热偶：工作温度为200℃-1500℃可选B型热电偶：工作温度为1200℃-1700℃安装有一个数显的温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃也可将仪器转换到手动调节状态，内部不安装热电偶，直接采用手动调节输出电流大小，发热源温度可高达2000℃，可达到对样品镀碳等实验仪器中配有2个钨丝篮 仪器顶部安装有样品台，直径为Φ50mm样品台可旋转，转速为：5rpm样品台和蒸发源之间的距离可以调节，调节范围为：60mm-100mm真空接口为KF40（与真空泵相连接）可选一数显防腐真空计PCG554 进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜进气口安装有一针阀，用于调节进气流量可在本公司选购各种真空泵可选购分子泵可使仪器真空腔体的真空度达到10-5 机械泵（带油污过滤器），真空度 < 1 Pa，可以蒸发贵金属如Au，Ag分子泵，可获得高真空，真空度< 10E-3 Pa，蒸发易氧化材料，如Al, Mg, Li等为获得**好的薄膜强度，建议镀膜前用等离子清洗机对基片进行清洗

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黄经理

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