| 产地 | 美国 |
|---|---|
| 电源 | 230v |
| 外形尺寸 | 450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H) |
| 种类 | 镀膜仪 |
| 执行质量标准 | 美标 |
| 品牌 | EMS |
| 型号 | EMS 550/EMS 500 |
EMS 550具有旋转样品台，可倾斜，适合各种样品。参数可预设，全自动控制保证获得**的镀层厚度。低电压溅射、冷溅射、精细颗粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直径为165 mm（6英寸），非常方便装载及移走样品。 仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。 各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用户使用要求。 溅射参数可预设，包括气体放气针阀（此阀为电磁阀），一旦设置**不需要再调节。溅射头互锁，系统可选配EMS250镀碳附件。
EMS 550本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。EMS500是EMS550的手动版本，其样品台不带自动旋转功能，其它参数与EMS550完全相同。下图为EMS550的外观图片： 
性能特征：
旋转且可倾斜样品台 高质量镀层厚度（2nm 金膜） **的可重复性能 均匀沉积厚度 复合样本固定器 全自动控制 低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台 低压溅射 20nm（或20埃） 微电子控制 聚碳酸酯安全壳体 仪器参数：| 仪器尺寸 | 450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H) |
| 工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃: 165mm(Dia.) x 125mm(H) |
| 安全罩 | 聚碳酸酯 |
| 重量 | 18Kg |
| 靶材 | 60 mm 直径 x 0.1mm 厚(金靶为标准靶材) |
| 样品台 | 60mm(Dia.) ，靶面距在25mm－45mm之间可调 |
| 真空泵工作范围 | ATM-1x10-2 mbar |
| 溅射电流 | 0-50mA |
| 溅射镀膜时间 | 0-4 minutes |
| 沉积速率 | 0-25nm/分 |
| 电源配置 | 230 volts 50Hz (6 amp Max incl pump) |
| 货号 | 产品名称 | 规格 |
| 91000 | EMS 550 Sputter Coater complete with Target | 台 |
| 91000-MA | EMS 500 Manual Sputter Coater | 台 |
| 91005 | Rotary Vacuum Pump Targets 60mm (Dia.) x 0.1mm (Thick) fitted inclusive as standard | 个 |
