BLLVAC-1200F继承高性能、高产量的特点与以往机型相比实现了更高的性价比，节电50%。

常规配置

真空系统

低真空泵：2X-70（选择：进口SV300，E2M17/275）

增压泵：ZJP600（选择：进口WAU2001，EH1200/EH2600）

高真空泵：涡轮分子泵（选择：低温泵，扩散泵或进口磁悬浮）

真空阀系统

-型号40，50，150，550

真空室加热系统

-**高温度：0到400℃

-型号：不锈钢管装加热器（选择：卤素灯管）

基片架盘型号：

-球面型（选择：平面型，3公自转，多行星型）

-转速：0到30转数/分

软启，软停，可调速

电器控制系统：

-触膜屏面板和PLC控制

-可修改和改变重要的参数

- 全程自动控制镀膜以达到**终产品所需要求

VAC系统

-进口低高真空感应器：1

MFC系统

-进口质量流量控制器：1

-进口电磁阀：1

APC系统

-进口质量流量控制器：1

-进口电磁阀：1

镀膜沉积控制系统

-晶控控制：美国产IC-6，

XTC-3S/M，INFICON310。

-石英晶体感应器：1，2，6头

光控控制

-国产光控（或英国inteiiemetrics）

离子源

-霍儿源（或考夫曼，RF源）

电子束源

-容量：15cc，25cc，40cc等等

-偏转角度：180°或270°

-坩埚：4，6，8，12，16，2+1，6+1个等

深冷系统

-真空室麦斯纳阱

-扩散泵冷阱