锆颗粒 高纯锆靶材 高纯锆颗粒 高纯锆颗粒 高纯铪靶材
一.镀膜材料（纯度：99.9%-99.9999%）
1.  氧化物      <技术指标>
        
      一氧化硅，二氧化铪，二氧化锆，二氧化钛，一氧化钛，二氧化硅，三氧化二钛
      五氧化三钛，五氧化二钽，五氧化二铌，三氧化二铝，三氧化二钪，三氧化二铟
      二氧化硅，二钛酸镨，二氧化铈，氧化镁，三氧化钨，氧化钐，氧化钕，氧化铋
      氧化镨，氧化锑，氧化钒，氧化镍，氧化锌，氧化铁，氧化铬，氧化铜
        
2.  氟化物      <技术指标>
        
      氟化镁，氟化镧,氟化镱，氟化钇，氟化镝，氟化钕，氟化铒，氟化钾  氟化锶,氟化钐,氟化钕，氟化钠，氟化钡，氟化铈
        
3.  金属类      <技术指标>
        
4.  混合料      <技术指标>
        
      氧化锆氧化钛混合料，氧化锆氧化钽混合料，氧化钛氧化钽混合料
      氧化锆氧化钇混合料，氧化钛氧化铌混合料，氧化锆氧化铝混合料
      氧化镁氧化铝混合料，氧化铟氧化锡混合料，氧化锡氧化铟混合料
      氟化铈氟化钙混合料
        
5.  其他化合物      <技术指标>
        
      钛酸钡，钛酸镨，钛酸锶，钛酸镧，硫化锌，冰晶石，硒化锌，硫化镉
    氮化硅，碳化硅，碳化硅，碳化铪，氮化钛，氮化铝，二硼化钛，二硼化锆
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6.  **      <技术指标>
        

      钼片，钼舟、钽片、钨片、钨舟、钨绞丝

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