| 产地 | 陕西宝鸡 |
|---|---|
| 计量单位 | 千克 |
| 目粒度 | 1000目 |
| 执行标准 | 国标 |
| 种类 | 晶体电气石 |
宝鸡市弘鼎金属材料有限公司
表面工程用靶材（装饰工具）多弧靶
品 名 | 纯度 | 密度 | 镀膜优势色 | 形状 | 常规尺寸 | 应用行业 |
钛铝（TiAl）合金靶 | 2N8-4N | 3.6-4.2 | 玫瑰金/咖啡色 | 圆柱形 | 直 径 60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装 饰 / 工 具 |
纯铬（Cr）靶 | 2N7-4N | 7.19 | 白色/黑色 | 圆柱形 | ||
纯钛（Ti）靶） | 2N8-4N | 4.51 | 金黄色/枪黑色 蓝色/玫瑰红 | 圆柱形 | ||
纯锆（Zr）靶 | 2N5-4N | 6.5 | 金色 | 圆柱形 | ||
纯铝（Al））靶 | 4N-5N | 2.7 | 银色 | 圆柱形 | ||
纯镍（Ni）靶 | 3N-4N | 8.9 | 金属本色 | 圆柱形 | ||
镍钒（Ni）靶 | 3N | 8.57 | 蓝绿色 | 圆柱形 | ||
纯铌（Nb）靶 | 3N | 8.57 | 白色 | 圆柱形 | ||
纯钽（Ta）靶 | 3N5 | 16.4 | 黑色/紫色 | 圆柱形 | ||
纯钼（Mo）靶 | 3N5 | 10.2 | 黑色 | 圆柱形 |
靶材的主要性能要求
靶材的主要性能要求:
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
